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离开硅烷工厂，凌世哲几人并没有直接回公司，而是直接去硅烷分解工厂。
这是硅烷热分解制备高纯度多晶硅的最后一道关键工序，硅烷厂通过特制的不锈钢管道，把硅烷送到硅烷分解工厂中的分解炉，分解炉里的温度正好是硅烷的分解温度，850—900摄氏度之间，在这个温度区间，硅烷被分解并沉积出高纯度多晶硅和高纯度的氢气，氢气毫不疑问是要被抽走冷却回收并在利用的。
硅烷和氢气都是易燃易爆的气体，而分解炉的温度高达近千摄氏度，不用谁都可以看出来这最后一道的硅烷分解工序在多晶硅生产过程中是最为危险的一道工序。
整个吸附系统以及分解室都要有高度的严密性，必须把空气完全隔绝，否则稍微有一空气进入到高温的分解炉中，都会引起爆炸和燃烧的危险。
这也是为什么凌世哲坚决要求把硅烷工厂和分解工厂必须给分开的原因，这完全是从生产安全的角度来考虑的。
介绍完硅烷分解制造多晶硅的整套工艺技术，你们肯定会问，这个硅烷如此危险，为什么还是最安全的生产方法呢？答案在于西门子公司发明的三氯氢硅还原制备高纯硅法，比硅烷热分解制备高纯硅法更加的危险。
西门子公司发明的三氯氢硅制备高纯硅法，在生产过程中不但需要大量的易燃易爆的高纯度氢气，更需要大量的**，而**和是剧毒物质，人吸入一都会中毒。
除了这两样之外，还要对氯化氢进行制备，而氯化氢的生产是通过氢气与**的燃烧而生成的，光是氯化氢的生产过程就相当的危险，氯化氢还是具有强腐蚀性的气体，与水就会生成盐酸；不管是气体还是酸，人的皮肤挨着一都会发生溃烂。
还有三氯氢硅跟硅烷一样也是易燃易爆气体，在空气中它会剧烈发烟，更关键的是它的燃只有二十八摄氏度，它易挥发、易气化，其蒸气有弱毒性，对人体有害。
况且，三氯氢硅在还原的过程中，会产生大量的有毒产物，例如：氯化氢、氢气、四氯化硅等；比起硅烷只产生氢气这个附属产物来，三氯氢硅的副产物会对高纯硅产生污染影响硅的纯度。
通过以上种种对比，我们完全可以看出，硅烷热分解制备高纯硅生产法在安全性上要比西门子法要安全的多，可靠的多。
硅烷分解厂的负责人是王炳坤的下属，正陪着凌世哲站在分解炉旁。这台分解炉体型很大，是在后世被广泛使用的高频感应等离子硅烷分解炉。它包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，高频等离子灯具收容于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接，并利用高频等离子灯具对硅烷气体进行加热来制作高纯硅，它的优是避免了高温气体与金属的直接接触，减少了污染，能大幅提高多晶硅的纯度。
一根八分粗的不锈钢管道与分解炉相连接，李耀文对凌世哲解道：“凌少，这根管道就是硅烷的输送管道，这根管道与分解炉相连，硅烷就是从这里进入分解炉里面，被分解沉积为多晶硅。为了最大的保证硅烷在管道输送途中的完全，在硅烷通过管道运输之前，我们还加入了氢气以稀释硅烷的浓度，从而避免在管道运输过程中因摩擦起热而产生爆炸、燃烧的危险。”
凌世哲却听得皱起了眉头，对李耀文道：“硅烷管道运输前，加氢气稀释硅烷浓度，是那个教你这么做的？”
李耀文心里一紧，弱弱的道：“是王厂长要求的，这样可以最大程度的保证安全。”
“你去通知王炳坤，叫他过来。”完后，凌世哲没有理睬傻愣着的站在一旁的李耀文，直接和克里斯托弗、王海华两人走进了一边的值班休息室。
看到凌世哲脸上没有任何表情，李耀文也不知道是福是祸，急忙回到他自己的办公室给王炳坤打了个电话。
等了十来分钟，王炳坤馒头大汗的跑了过来，来的值班室看到凌世哲正坐在值班椅子上看着员工每个一时抄写的分解炉二十四时值班运行记录，旁边站着三个值班的工人大气也不敢出，克里斯托福坐在凌世哲的旁边，王海华兴趣盎然的看着墙上的安全运行规程，李耀文站着凌世哲对面，头哈腰不断的擦汗。
看到李耀文这幅样子，他心里咯噔一下，坏了，当且走到李耀文面前张口骂道：“李耀文，我不是跟你过吗，值班运行记录要认真填写，马虎不得，你怎么就是不听呢，还有你们……”
“嗯……”凌世哲出声打断了他，道：“谁他们的值班运行记录有问题啊？”
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离开硅烷工厂，凌世哲几人并没有直接回公司，而是直接去硅烷分解工厂。
这是硅烷热分解制备高纯度多晶硅的最后一道关键工序，硅烷厂通过特制的不锈钢管道，把硅烷送到硅烷分解工厂中的分解炉，分解炉里的温度正好是硅烷的分解温度，850—900摄氏度之间，在这个温度区间，硅烷被分解并沉积出高纯度多晶硅和高纯度的氢气，氢气毫不疑问是要被抽走冷却回收并在利用的。
硅烷和氢气都是易燃易爆的气体，而分解炉的温度高达近千摄氏度，不用谁都可以看出来这最后一道的硅烷分解工序在多晶硅生产过程中是最为危险的一道工序。
整个吸附系统以及分解室都要有高度的严密性，必须把空气完全隔绝，否则稍微有一空气进入到高温的分解炉中，都会引起爆炸和燃烧的危险。
这也是为什么凌世哲坚决要求把硅烷工厂和分解工厂必须给分开的原因，这完全是从生产安全的角度来考虑的。
介绍完硅烷分解制造多晶硅的整套工艺技术，你们肯定会问，这个硅烷如此危险，为什么还是最安全的生产方法呢？答案在于西门子公司发明的三氯氢硅还原制备高纯硅法，比硅烷热分解制备高纯硅法更加的危险。
西门子公司发明的三氯氢硅制备高纯硅法，在生产过程中不但需要大量的易燃易爆的高纯度氢气，更需要大量的**，而**和是剧毒物质，人吸入一都会中毒。
除了这两样之外，还要对氯化氢进行制备，而氯化氢的生产是通过氢气与**的燃烧而生成的，光是氯化氢的生产过程就相当的危险，氯化氢还是具有强腐蚀性的气体，与水就会生成盐酸；不管是气体还是酸，人的皮肤挨着一都会发生溃烂。
还有三氯氢硅跟硅烷一样也是易燃易爆气体，在空气中它会剧烈发烟，更关键的是它的燃只有二十八摄氏度，它易挥发、易气化，其蒸气有弱毒性，对人体有害。
况且，三氯氢硅在还原的过程中，会产生大量的有毒产物，例如：氯化氢、氢气、四氯化硅等；比起硅烷只产生氢气这个附属产物来，三氯氢硅的副产物会对高纯硅产生污染影响硅的纯度。
通过以上种种对比，我们完全可以看出，硅烷热分解制备高纯硅生产法在安全性上要比西门子法要安全的多，可靠的多。
硅烷分解厂的负责人是王炳坤的下属，正陪着凌世哲站在分解炉旁。这台分解炉体型很大，是在后世被广泛使用的高频感应等离子硅烷分解炉。它包括分解炉筒体、高频等离子灯具、感应线圈以及高频感应配电箱；其中，高频等离子灯具收容于分解炉筒体内，其通过冷却密封组件与高频感应配电箱相连接，并利用高频等离子灯具对硅烷气体进行加热来制作高纯硅，它的优是避免了高温气体与金属的直接接触，减少了污染，能大幅提高多晶硅的纯度。
一根八分粗的不锈钢管道与分解炉相连接，李耀文对凌世哲解道：“凌少，这根管道就是硅烷的输送管道，这根管道与分解炉相连，硅烷就是从这里进入分解炉里面，被分解沉积为多晶硅。为了最大的保证硅烷在管道输送途中的完全，在硅烷通过管道运输之前，我们还加入了氢气以稀释硅烷的浓度，从而避免在管道运输过程中因摩擦起热而产生爆炸、燃烧的危险。”
凌世哲却听得皱起了眉头，对李耀文道：“硅烷管道运输前，加氢气稀释硅烷浓度，是那个教你这么做的？”
李耀文心里一紧，弱弱的道：“是王厂长要求的，这样可以最大程度的保证安全。”
“你去通知王炳坤，叫他过来。”完后，凌世哲没有理睬傻愣着的站在一旁的李耀文，直接和克里斯托弗、王海华两人走进了一边的值班休息室。
看到凌世哲脸上没有任何表情，李耀文也不知道是福是祸，急忙回到他自己的办公室给王炳坤打了个电话。
等了十来分钟，王炳坤馒头大汗的跑了过来，来的值班室看到凌世哲正坐在值班椅子上看着员工每个一时抄写的分解炉二十四时值班运行记录，旁边站着三个值班的工人大气也不敢出，克里斯托福坐在凌世哲的旁边，王海华兴趣盎然的看着墙上的安全运行规程，李耀文站着凌世哲对面，头哈腰不断的擦汗。
看到李耀文这幅样子，他心里咯噔一下，坏了，当且走到李耀文面前张口骂道：“李耀文，我不是跟你过吗，值班运行记录要认真填写，马虎不得，你怎么就是不听呢，还有你们……”
“嗯……”凌世哲出声打断了他，道：“谁他们的值班运行记录有问题啊？”
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